CVD-piikarbidipinnoite (SiC).

CVD-siikarbidipinnoite on pohjimmiltaan grafiitille kerrostettu piikarbidikerros, ja sitä käytetään laajalti epitaksityökaluissa, joissa sekä lämpötilalla että puhtaudella on merkitystä. Todellisilla tuotantolinjoilla sitä näkee usein AIXTRONin, ASM/LPE:n, Veecon ja joidenkin AMAT:iin liittyvien alustojen järjestelmissä. Sen hyödyllisyys ei ole pelkästään lämpötilankestävyys, vaan myös yleinen stabiilius pitkien ajojen aikana. Tyypillisissä epitaksiolosuhteissa – vedyssä, ammoniakissa tai jopa klooratuissa kaasuissa – pinnoite pysyy suhteellisen vakaana ja suojaa alla olevaa grafiittia. Tämä auttaa pitämään lämpökentän tasaisempana ja vähentää hiukkasten ilmestymisen mahdollisuutta kasvun aikana.

Useimmiten pinnoite levitetään osiin, kuten suskeptoreihin, kiekkojen kantajiin, grafiittirenkaisiin tai puolikuun muotoisiin komponentteihin. Nämä kaikki liittyvät suoraan kiekkojen lämmitykseen tai asemointiin, joten pienikin epävakaus voi vaikuttaa saantoon. Tästä syystä pinnoitettuja osia käsitellään usein kulutustavaroina, joiden on edelleen oltava luotettavia useiden syklien ajan, erityisesti 4–12 tuuman tuotannossa.