Kvartsin osat

Kvartsia käytetään edelleen kaikkialla puolijohteiden prosessoinnissa. Se ei ole uusi materiaali, mutta luotettava, ja useimmat valmistajat tuntevat sen käyttäytymisen. Niin kauan kuin puhtautta hallitaan, se toimii hyvin diffuusio-, hapetus- ja puhdistusvaiheissa.

Paljon kvartsiosia käytetään uunijärjestelmissä tai PECVD-työkaluissa. Tärkein odotus on vakaus – ei välttämättä pitkä käyttöikä, mutta ennustettava suorituskyky. Se on yleensä riittävän hyvä monille vakioprosesseille.

Kvartsilla on toki rajansa. Se voi kulua nopeammin tietyissä olosuhteissa, erityisesti piikarbidiin verrattuna. Mutta koska sitä on suhteellisen helppo hankkia eikä se ole liian kallista, ihmiset käyttävät sitä silti melko paljon.