EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Puolijohdekvartsikylpy
Pikatiedot:
1.Muut nimet: Puolijohdekvartsi-säiliö, kvartsikylpy puolijohteille, kvartsisäiliö puolijohteille.
2. Käyttö: Puolijohdekvartsikylpy on erittäin puhdas ja korroosionkestävä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu puolijohdevalmistuksen tarkkuuspuhdistukseen ja kemialliseen käsittelyyn. Tämä kvartsikylpy on suunniteltu yhteensopivaksi WS-620C/WS-820C/WS-820L-järjestelmän kanssa, ja se toimii korkeissa lämpötiloissa (jopa 175 °C) ja on optimoitu käytettäväksi fosforihappoliuosten (H₃PO₄) kanssa, mikä varmistaa poikkeuksellisen suorituskyvyn kriittisissä kiekkojen puhdistusprosesseissa.
3. Keskeiset parametrit:
Sulatettua kvartsia (>99.99 % SiO₂).
Poikkeuksellisen kemiallinen inertti H₃PO₄:lle (fosforihappo) korkeissa lämpötiloissa, estäen hajoamisen tai hiukkasten muodostumisen.
Kestää jatkuvaa käyttöä 160 °C:ssa ja 175 °C:n huippulämpötiloja säilyttäen rakenteellisen eheyden ja mittapysyvyyden.
Tuotetiedot
Puolijohdekvartsikylpy on erittäin puhdas ja korroosionkestävä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu puolijohdevalmistuksen tarkkuuspuhdistukseen ja kemialliseen käsittelyyn. Tämä kvartsikylpy on suunniteltu yhteensopivaksi WS-620C/WS-820C/WS-820L-järjestelmän kanssa, ja se toimii korkeissa lämpötiloissa (jopa 175 °C) ja on optimoitu käytettäväksi fosforihappoliuosten (H₃PO₄) kanssa, mikä varmistaa poikkeuksellisen suorituskyvyn kriittisissä kiekkojen puhdistusprosesseissa.
Avainominaisuudet
Materiaalien ylivoimaisuus
Erittäin puhdas kvartsi: Valmistettu synteettisestä sulatetusta kvartsista (>99.99 % SiO₂), mikä minimoi kontaminaation ja kestää lämpöshokkeja.
Haponkestävyys
Poikkeuksellisen kemiallinen inertti H₃PO₄:lle (fosforihappo) korkeissa lämpötiloissa, estäen hajoamisen tai hiukkasten muodostumisen.
Lämpövakaus
Kestää jatkuvaa käyttöä 160 °C:ssa ja 180 °C:n huippulämpötiloja säilyttäen rakenteellisen eheyden ja mittapysyvyyden.
Suorituskyvyn edut
Kontaminaationhallinta: Erittäin sileä pintakäsittely minimoi hiukkasten tarttumisen, mikä on kriittistä alle mikronin kokoisille puolijohdesolmuille.
Pitkäikäisyys: Kvartsin happokorroosion ja lämpöväsymisen kestävyys pidentää käyttöikää, mikä vähentää seisokkiaikoja ja ylläpitokustannuksia.
Prosessin yhdenmukaisuus: Vakaa lämmönjohtavuus varmistaa tasaisen lämpötilan jakautumisen, mikä parantaa puhdistustehokkuutta ja toistettavuutta.
Miksi valita Semixlabin puolijohdekvartsikylpy?
Puolijohdelaatua: Valmistettu puhdastiloissa SEMI-standardien täyttämiseksi.
Räätälöidyt ratkaisut: Saatavilla on räätälöityjä malleja vastaamaan tiettyjä prosessivaatimuksia.
Luotettavuus: Tiukat laatutestit varmistavat puolijohdeteollisuuden vaatimustenmukaisuuden.
tekniset tiedot
| Mekaaninen omaisuus | Tiheys (g/cm³3) | 2.2 |
| Mohsin kovuus | 6-7 | |
| Puristuslujuus (MPa) | 1100 | |
| Vetolujuus (N/mm2) | 50 | |
| Taivutuslujuus (N/mm2) | 65 | |
| Vääntölujuus (N/mm2) | 30 | |
| Youngin moduuli (MPa) | 7.2x104 | |
| poissonin luku | 0.16 | |
| Lämpöominaisuudet | Lämpölaajenemiskerroin (20~320℃,k-1) | 5.5x10-7 |
| Lämmönjohtavuus (20 ℃, W·m-1k-1) | 1.4 | |
| Ominaislämpö (20 ℃, J·kg-1k-1) | 670 | |
| Pehmenemispiste (℃) | 1700 | |
| Hehkutuspiste (℃) | 1180 | |
| Venymäpiste (℃) | 1080 | |
| Sähköinen omaisuus | Sähköresistiivisyys (Ω·m) | 1x1016(20 ℃) |
| Dielektrisyysvakio (10 GHz) | 3.74 | |
| Dielektrinen häviö (10 GHz) | 0.0002 | |
| Läpilyöntilujuus (V·m-1) | 3.7x107 |
Sovellukset
Kiekkojen puhdistus: Fotoresistin, jäämien ja epäpuhtauksien poistaminen H₃PO₄-pohjaisista liuoksista etsauksen tai litografian jälkeen.
Korkean lämpötilan prosessit: Sopii edistyneisiin puolijohteiden valmistusvaiheisiin, jotka vaativat aggressiivisia kemioita korotetuissa lämpötiloissa.
Yhteensopivuus: Ihanteellinen WS-620C/WS-820C/WS-820L-järjestelmille logiikka-, muisti- tai virtalaitteita valmistavissa tehtaissa.
