EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Korkean puhtauden kvartsiffuusioputki
Semixlab on Kiinan johtava kvartsikomponenttien valmistaja, joka on erikoistunut puolijohteiden hapetus-, diffuusio- ja hehkutusprosesseihin tarkoitettujen erittäin puhtaiden kvartsisten diffuusioputkien suunnitteluun ja tuotantoon. Putket on valmistettu erittäin puhtaasta sulatetusta piidioksidista (≥99.99 % SiO₂) ja jalostettu tarkkuusmuovauksen ja tiukan kontaminaation hallinnan avulla. Jokainen putki varmistaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden ja erittäin alhaiset metalliepäpuhtauspitoisuudet. Odotan innolla lisäkonsultaatiotasi.
Tuotetiedot
Semixlabin erittäin puhdas kvartsinen diffuusioputki on suunniteltu erityisesti puolijohdevalmistuksen korkean lämpötilan lämpöprosesseihin, mukaan lukien hapetus, seostusaineiden diffuusio ja hehkutus.
Jokainen erittäin puhtaasta sulatetusta piidioksidista (≥99.99 % SiO₂) valmistettu putki on suunniteltu tarjoamaan poikkeuksellisen kemiallisen stabiilisuuden, minimoimaan kontaminaation ja tarkan lämpötasaisuuden – varmistaen tasaisen kiekkojen käsittelyn vaativissa puhdastilaympäristöissä.
Semixlabin kvartsiputket on sekä pysty- että vaakasuoriin diffuusiouuneihin integroitu, ja ne on tarkasti muotoiltu ja testattu, jotta ne täyttävät IC-, LED-, MEMS- ja teholaitteiden valmistuksen tiukat vaatimukset.
Sovellukset
Sovellukset puolijohdeprosesseissa
1. Terminen hapetus
Lämpöhapetusuuneissa kvartsidiffuusioputket toimivat ensisijaisena reaktiokammiona, jossa piikiekot altistetaan O₂- tai H₂O-höyrylle korotetuissa lämpötiloissa (900–1150 °C).
● Tarjoaa puhtaan ja vakaan happiympäristön SiO₂:n tasaiselle kasvulle.
● Poistaa metalli-ionikontaminaation varmistaen hilan ja eristysoksidien korkean dielektrisen eheyden.
Korkean puhtauden kvartsinen diffuusioputki sopii erinomaisesti kiekkojen käsittelyyn
2. Seosaineiden diffuusio
Kvartsidiffuusioputkia käytetään lisäaineiden (kuten fosforin tai boorin) diffuusioon piisubstraattiin haluttujen liitosprofiilien luomiseksi.
● Erinomainen kemiallinen inerttiys estää kontaminaation POCl₃- tai BBr₃-reaktioiden aikana.
● Säilyttää korkean puhtauden myös halogeenipohjaisissa ilmakehissä.
3. Hehkutus- ja autotalliprosessit
Ioni-istutuksen tai -kerrostuksen jälkeen kiekot hehkutetaan korkeassa lämpötilassa lisäaineiden aktivoimiseksi ja hilavaurioiden korjaamiseksi.
● Kvartsiputket tarjoavat termisesti tasaisen ja vähäkontaminaatioisen kammion vakaiden ja toistettavien tulosten saavuttamiseksi.
● Sopii sekä N₂- että muovauskaasulla tehtävään hehkutusympäristöön.
4. LPCVD ja T&K-lämpökäsittely
Pienimuotoisissa LPCVD- tai tutkimusuuneissa kvartsidiffuusioputket voivat toimia sekä reaktio- että suojakammiona.
● Ihanteellinen polysilikoni-, piinitridi- ja oksidikalvojen laskeutumiseen.
● Varmistaa vähäisen hiukkasten muodostumisen ja korkean toistettavuuden eri ajojen välillä.
Kilpailuetu
Semixlabin edut
1. Materiaalin puhtaus ja jäljitettävyys
Jokainen kvartsiputki on valmistettu erittäin puhtaasta sulatetusta piidioksidista, joka on hankittu sertifioiduilta toimittajilta. ICP-MS-analyysiraportit ovat saatavilla pyynnöstä, mikä takaa jokaisen erän jäljitettävyyden.
2. Tarkkuusvalmistus ja räätälöinti
Semixlab tarjoaa räätälöityjä malleja, jotka täyttävät asiakkaiden vaatimat uunin mitat, lämpötilaprofiilit ja kaasun virtauskuviot.
Vaihtoehdot ovat:
● Pystysuorat tai vaakasuorat putkikokoonpanot
● Mukautetut halkaisijat, seinämän paksuudet ja päätylaipat
● Kiillotetut tai syövytetyt pinnat
● Monikiekkojen kantajien erityiskäsittelyratkaisut
3. Tiukka testaus ja laadunvarmistus
Jokainen diffuusioputki käy läpi mittatarkastuksen, pinnan eheystestauksen ja lämpöjännityssimuloinnin ennen toimitusta. Tämä varmistaa yhteensopivuuden alan johtavien diffuusiouunijärjestelmien, kuten TEL:n, Kokusain, Centrothermin ja ASM:n, kanssa.
