SiC Keramiikka

Piikarbidikerameereja käytetään yhä enemmän puolijohdelaitteissa, pääasiassa siksi, että ne kestävät paremmin vaativampia olosuhteita. Kun lämpötila nousee korkeaksi tai prosessista tulee aggressiivisempi, kvartsin tai piin kaltaiset materiaalit voivat alkaa osoittaa rajoituksia, ja tässä piikarbidi tulee yleensä mukaan kuvaan. Uuniprosesseissa, kuten hapetuksessa tai diffuusiossa, piikarbidista valmistetut osat, kuten kiekkoveneet tai lapat, kestävät yleensä pidempään. Ne säilyttävät muotonsa eivätkä likaannu paljon edes pitkien ajojen jälkeen. Ihmiset usein vaihtavat kvartsin tästä syystä, varsinkin kun huoltoa tarvitaan liian usein.

Etsaukseen piikarbidi valitaan usein yksinkertaisesti siksi, että se kestää plasmassa pidempään. Elinikäero piiosiin verrattuna on havaittavissa monissa kokoonpanoissa, vaikka se riippuukin silti tarkasta prosessista. Se auttaa myös jonkin verran hiukkasten hallinnassa, josta tulee herkempi solmujen kutistuessa. Piikarbidia käytetään myös suskeptoreina MOCVD- tai CVD-menetelmissä. Näissä tapauksissa kyse on vähemmän "lujuudesta" ja enemmän lämpötilakäyttäytymisen pitämisestä vakaana. Muuten sitä esiintyy kammion osissa, kuten vuorauksissa tai suihkupäissä, ja joskus myös käsittelykomponenteissa.