Kiinteä piikarbidireunarengas

Tärkeimmät suorituskykyominaisuudet

Semixlab Bulk SiC Edge Ring on suunniteltu vastaamaan seuraavan sukupolven puolijohdetuotannon tiukkoihin vaatimuksiin. Seuraavat suorituskykyominaisuudet tekevät siitä ensisijaisen valinnan plasmaetsauskammioihin edistyneissä tehtaissa:

● Erinomainen plasmapommitusten kestävyys

Erittäin puhtaasta kiinteästä piikarbidista valmistettu reunarengas on poikkeuksellisen kestävä tiheän plasman kanssa, mikä minimoi kulumisen ja pidentää komponentin käyttöikää voimakkaan ionipommituksen aikana.

● Erinomainen kaasun korroosionkestävyys

SiC-materiaali on kemiallisesti inertti ja kestää tehokkaasti syövyttäviä syövytyskaasuja, kuten Cl₂:ta, CF₄:tä ja SF₆:tä, ilman pinnan heikkenemistä jopa korkeissa lämpötiloissa.

● Erinomainen lämpöshokki- ja lämpövenymänkestävyys

Kiinteän piikarbidin (SiC) lämmönjohtavuudella 120–150 W/m·K ja alhaisella lämpölaajenemiskertoimella (~4.5 × 10⁻⁶ /K) sen mittapysyvyys ja mekaaninen eheys säilyvät nopeiden lämpövaihteluiden aikana.

● Sileä pinta, hiukkaston toiminta

Edistykselliset pinnan viimeistelytekniikat varmistavat alhaisen pinnan karheuden (Ra ≤ 0.2 µm), mikä minimoi hiukkasten muodostumisen ja yksinkertaistaa kammion puhdistusprosesseja, mikä lyhentää seisokkiaikaa.

● Ei vääntymistä tai muodonmuutoksia ajan myötä

Toisin kuin perinteiset komposiittireunarenkaat, monoliittinen piikarbidirakenteemme pysyy tasaisena ja mittavakaana pitkien prosessisyklien ajan, mikä tarjoaa luotettavaa suorituskykyä pitkien käyttöikien aikana.

Miksi valita Semixlabin piikarbidireunarenkaat?

Semixlabilla toimitamme erinomaista laatua, jota tukee asiantuntemus ja innovaatio. Tässä on syyt, miksi Semixlabin SiC-reunarenkaat erottuvat joukosta:

● Räätälöidyt ratkaisut

Tarjoamme täyden räätälöinnin prosessispesifikaatioidesi mukaisesti, mukaan lukien sisä- ja ulkohalkaisijat, paksuus sekä erityiset pinnoitteet tai tekstuurit, varmistaen täydellisen istuvuuden ja optimaalisen suorituskyvyn etsauskammiossasi.

● Kattava valikoima tyyppejä

Semixlab tukee useita etsaustyökalualustoja, kuten TEL-, Lam- ja AMAT-järjestelmiä sekä räätälöityjä OEM-järjestelmiä, ja saatavilla on sekä vakio- että työkalukohtaisia ​​reunarenkaita erilaisiin prosessitarpeisiin.

● Vakaa laatu, nopea toimitus

ISO-sertifioidun valmistuksen, tiukan laadunvalvonnan ja virtaviivaisen toimitusketjun avulla varmistamme osien tasaisen suorituskyvyn, lyhyet toimitusajat ja oikea-aikaiset toimitukset, jotta tuotantosi pysyy käynnissä ilman viivästyksiä.

Kiinteän piikarbidin ydinfysikaaliset ominaisuudet

Sovellus puolijohdevalmistuksessa

Kiinteä piikarbidireunarengas on olennainen osa piikiekon plasmaetsausprosessia, jossa se toimii suojaavana ja rakenteellisena rajapintana kiekon ja kammion laitteiston välillä. Kiekon reunan ympärille sijoitettu komponentti varmistaa prosessin vakauden, suojaa sähköstaattista istukkaa (ESC) ja vähentää kontaminaatioriskejä estämällä hiukkasten kertymisen. Se on erityisen arvokas erittäin tarkassa kuivaetsauksessa ja RIE (reaktiivinen ionietsaus) -ympäristöissä, joissa prosessin toistettavuus, kammion suojaus ja pitkäaikainen luotettavuus ovat kriittisiä.