EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Kiinteä piikarbiditiiviste etsaukseen
Kiinteä piikarbidi (SiC) -tarkennusrengas on kriittinen komponentti edistyneissä puolijohdeplasmaetsausjärjestelmissä. Se on suunniteltu ympäröimään kiekon reunaa etsauksen aikana ja säätelee plasman jakautumista ja sähkökentän tasaisuutta varmistaen yhdenmukaiset etsausprofiilit koko kiekon pinnalla. Tämä erittäin puhtaasta, täysin tiheästä piikarbidista (SiC) valmistettu tarkennusrengas tarjoaa erinomaisen kestävyyden plasmaeroosiota vastaan, erinomaisen lämmönjohtavuuden ja mittapysyvyyden, mikä tekee siitä ihanteellisen suuren tiheyden plasmaetsausprosesseihin (ICP, RIE, DRIE).
Tuotetiedot
Semixlabin kiinteästä piikarbidista (SiC) valmistettu syövytykseen tarkoitettu tarkennusrengas yhdistää edistyneet materiaalit, tarkkuustekniikan ja todistetun prosessitehon. Se on suunniteltu korkeaa plasmankestävyyttä ja minimoimaan kontaminaation varmistaen erinomaisen tasaisuuden, pidemmän käyttöiän ja vakaan työkalun toiminnan vaativissa syövytysympäristöissä.
tekniset tiedot
Materiaalikoostumus ja tärkeimmät ominaisuudet
Semixlabin kiinteä piikarbidi (SiC) tarkennusrengas on valmistettu tiheästä sintratusta piikarbidista, jolla on poikkeuksellisen puhdas ja kontrolloitu mikrorakenne.
Ydinfysikaalisiin ominaisuuksiin kuuluvat:
| Kiinteän piikarbidin fysikaaliset ominaisuudet | |||
| Tiheys | 3.21 | g / cm3 | |
| Sähkön resistiivisyys | 102 | Ω/cm | |
| Taivutuslujuus | 590 | MPa | (6000kgf/cm2) |
| Nuoren moduuli | 450 | GPa | (6000 kgf/mm2) |
| Vickers Kovuus | 26 | GPa | (2650 kgf/mm2) |
| CTE (RT-1000 ℃) | 4.0 | x10-6/K | |
| Lämmönjohtavuus (RT) | 250 | W / mK | |
Nämä ominaisuudet takaavat vakaan ja toistettavan suorituskyvyn vaativissa etsausolosuhteissa.
Sovellukset
Sovellukset puolijohteiden etsausprosesseissa
1. Suurtiheyksinen plasmaetsaus (ICP / RIE)
SiC-tarkennusrengas vakauttaa plasman tiheyttä ja sähkökentän jakautumista kiekon reunan lähellä, mikä tehokkaasti minimoi reunan ylietsauksen ja parantaa kriittisen ulottuvuuden (CD) tasaisuutta. Sen vankka eroosiokestävyys pidentää käyttöikää jopa suuren ionienergian alaisena.
2. Syväreaktiivinen ionetsaus (DRIE)
DRIE-prosesseissa – jotka ovat yleisiä MEMS- ja teholaitteiden valmistuksessa – kiinteä piikarbidi-fokusrengas kestää toistuvaa ionipommitusta ja polymeerien kerrostumista ilman muodonmuutosta. Sen alhainen hiukkasten muodostuminen edistää parempaa saantoa ja lyhentää huoltovälejä.
3. Fluori- ja klooripohjaiset etsausympäristöt
Piikarbidin kemiallinen inerttiys estää reaktion halogeenipohjaisten plasmakaasujen (SF₆, CF₄, Cl₂, BCl₃) kanssa, mikä varmistaa pitkäaikaisen mittapysyvyyden ja suojaa kammiota kontaminaatiolta tai metallin diffuusiolta.
4. Suuritehoinen ja pitkäkestoinen etsaus
Erinomaisten lämmönhallintaominaisuuksiensa ansiosta piikarbidi johtaa tehokkaasti lämpöä pitkäaikaisesta korkeaenergisestä etsauksesta säilyttäen mekaanisen eheyden ja mittatarkkuuden jopa ankarissa lämpötilavaihteluissa.
Kilpailuetu
Semixlabin tekniset edut
1. Edistynyt materiaalitekniikka
Semixlab hyödyntää tarkkaa sintrausta ja erittäin puhdasta piikarbidijauheteknologiaa saavuttaen poikkeuksellisen materiaalitiheyden ja mikrorakenteellisen tasaisuuden. Jokainen komponentti CNC-koneistetaan ja peilipinta kiillotetaan, mikä varmistaa tarkan geometrian ja vähentää plasman interferenssiä.
2. Täydet mukautusmahdollisuudet
Tarjoamme mittatilaustyönä valmistettuja tarkennusrenkaita, jotka sopivat erilaisiin OEM-etsausalustoihin (LAM, TEL, AMAT, Oxford jne.). Geometria, johtavuus ja paksuus voidaan optimoida plasmaympäristösi ja kiekkokoon (200 mm / 300 mm / 450 mm) mukaan.
3. Tiukka laatutestaus
Kaikki piikarbidiosat testataan tiukkojen mitta-, lämpö- ja plasmakestävyysstandardien mukaisesti, mukaan lukien:
● Tiheyden ja huokoisuuden tarkistus
● Plasmaeroosiosimulaatio ja kiihdytetty kulumiskoe
● Pinnan karheuden tarkastus (Ra ≤ 0.05 μm)
● Lämpöjännityksen ja tasaisuuden sertifiointi
Semixlab on Kiinan johtava erittäin puhtaiden piikarbidikomponenttien (SiC) valmistaja, joka on erikoistunut tarkkuusvalmisteisiin kiinteisiin piikarbidi-tarkennusrenkaisiin edistyneisiin plasmaetsausjärjestelmiin. Jokainen tarkennusrengas on suunniteltu poikkeuksellisen plasmankestävyyden, lämpöstabiilisuuden ja mittatarkkuuden takaamiseksi, ja se varmistaa tasaisen plasman jakautumisen ja erinomaisen etsausprofiilin hallinnan.
Jos tarvitset räätälöityjä malleja, teknistä konsultointia tai näytteen arviointia, ota yhteyttä puolijohdemateriaalien asiantuntijoihimme.
palvelumme
Semixlab-tuotekauppa
