SiC-kantokiekko ICP-etsaukseen

ICP-etsausjärjestelmän erittäin reaktiivisessa ja plasmaintensiivisessä ympäristössä Semixlab Semiconductorin suunnittelemalla piikarbidikanttilevyllä on keskeinen rooli kiekkojen eheyden, etsaustarkkuuden ja prosessin yleisen vakauden määrittämisessä. Se on paljon yksinkertaisen mekaanisen kiinnittimen lisäksi integroitu prosessiliitäntä – se tasapainottaa lämpö-, sähkö- ja plasmakemiallista dynamiikkaa, jotka suoraan määräävät etsaustasaisuuden ja kiekkojen saannon.

Ytimessään piikarbidilevy tarjoaa vakaan ja erittäin puhtaan mekaanisen alustan, joka tukee kiekkoa plasmaaltistuksen aikana. Levyn mittatarkkuus ja tasaisuus varmistavat kiekon tasaisen istuvuuden, minimoivat reunajännityksen ja estävät mikromurtumia tai taipumista ionipommituksen aikana. Sen erinomainen lämmönjohtavuus ja tasainen lämmönjako mahdollistavat kiekkojen tarkan lämpötilatasapainon ylläpitämisen koko pinnalla, mikä on välttämätöntä etsausnopeuksien hallitsemiseksi ja nanometritason kuviotarkkuuden saavuttamiseksi. Suuritiheyksisissä plasmaolosuhteissa lämpötilagradientit voivat aiheuttaa prosessiajoa tai mikrouritusta, ja piikarbidilevyn tasainen lämmönlevitys lieventää tehokkaasti näitä vaikutuksia.

Kemiallisesti piikarbidikantokiekko toimii suojakerroksena plasman ja kammion kiekkoja käsittelevien komponenttien välillä. Erittäin puhdas piikarbidikoostumus on erittäin kestävä halogeenipohjaisille kemikaaleille, kuten Cl₂:lle, BCl₃:lle, SF₆:lle ja CF₄:lle, mikä minimoi roiskekontaminaation ja estää käytännössä metalli-ionien kulkeutumisen – ratkaiseva tekijä edistyneessä solmujen valmistuksessa. Tämä inertti käyttäytyminen vähentää kammion puhdistusten tiheyttä ja pidentää sekä levyn että sitä ympäröivien työkalukomponenttien käyttöikää, mikä parantaa käyttöaikaa ja läpimenoaikaa.

Sähköisestä näkökulmasta Semixlabin piikarbidilevy edistää plasmavaipan hallittua muodostumista ja radiotaajuusenergian kytkennän vakauttamista. Valitusta materiaalikokoonpanosta – johtavasta tai puolieristävästä piikarbidista – riippuen levyä voidaan suunnitella hienosäätämään paikallista esijännitettä, mikä vähentää varauksen kertymistä ja estää kiekkotason valokaaren tai mikropurkaukset, jotka voivat heikentää ominaisuusprofiileja. Tämä tarkka sähköisten reunaehtojen hallinta parantaa prosessin toistettavuutta ja tukee edistyneitä plasman tasaisuuden säätöstrategioita.

Lisäksi kiekon plasmaa kohti oleva pinta on optimoitu minimoimaan hiukkasten muodostuminen ja varmistamaan tasainen kaasun virtauksen jakautuminen kiekon tasossa. Sen geometria on suunniteltu laskennallisen virtausmallinnuksen avulla pyörteiden ja paikallisten plasmatiheysvaihteluiden poistamiseksi, mikä johtaa tasaiseen ionivirtaukseen ja etsauksen tasaisuuteen koko kiekko-erässä. Piikarbidin mekaanisen lujuuden, kemiallisen inertiyden ja lämpö-/sähkötasapainon välinen synergia muuttaa sen kriittiseksi virheettömän etsauksen mahdollistajaksi sekä piille että laajan kaistanleveyden materiaaleille, kuten piikarbidille ja GaN:lle.

Pohjimmiltaan Semixlabin ICP-etsauskäyttöön tarkoitettu piikarbidilevy toimii tarkasti suunniteltuna prosessielementtinä, joka suojaa kiekon puhtautta ja parantaa samalla aktiivisesti plasman suorituskykyä. Sen materiaalin eheys, rakennesuunnittelu ja toiminnallinen monipuolisuus tukevat yhdessä seuraavan sukupolven laitevalmistuksen tiukkoja vaatimuksia, joissa jokainen etsaustarkkuuden nanometri ja jokainen kontaminaationhallinnan hiukkanen määrittelevät rajan saannon optimoinnin ja prosessipoikkeamien välillä.

Johtavana kiinalaisena ICP-laitteiden piikarbidikantokiekkolevyjen valmistajana ja tehtaana Semixlab on sitoutunut tarjoamaan asiakkailleen edistynyttä teknologiaa ja tuoteratkaisuja. Tarjoamme kattavia palveluita koko prosessin ajan, mukaan lukien myyntiä edeltävän teknisen konsultoinnin, tuoteprototyyppien valmistuksen, tiukan lähetystä edeltävän testauksen ja täydellisen myynnin jälkeisen tuen. Otamme mielellämme vastaan ​​lisäkyselyitä milloin tahansa.