TaC-päällysteinen huokoinen grafiitti

Semixlabin tantaalikarbidilla (TaC) päällystetty huokoinen grafiittirengas (tantaalikarbidilla päällystetty huokoinen grafiittirengas) on erittäin suorituskykyinen grafiittikomponentti, joka on erityisesti suunniteltu piikarbidi- (SiC) yksittäiskiteiden kasvatukseen. Tämä tuote on valmistettu erittäin puhtaasta huokoisesta grafiittisubstraatista ja päällystetty korkeita lämpötiloja ja korroosiota kestävällä tantaalikarbidi (TaC) -pinnoitteella. Sillä on erinomainen lämmönshokin kestävyys, kemiallinen stabiilius ja pitkä käyttöikä, ja se on tärkeä kulutusmateriaali piikarbidi-yksittäiskiteiden kasvatusuunissa (PVT-menetelmä).

Tuotteen ominaisuudet

1. Erittäin puhdas huokoinen grafiittisubstraatti

Käytetään erittäin puhdasta (≥99.9999 %) isostaattista grafiittia, jonka huokoisuus on hallittavissa, mikä varmistaa hyvän lämpötasaisuuden ja kaasunläpäisevyyden sekä optimoi piikarbidi-yksittäiskiteiden kasvuympäristön.

Alhainen tuhkapitoisuus ja vähän epäpuhtauksia, mikä vähentää kontaminaatioriskiä kiteenkasvatusprosessin aikana.

2. Tantaalikarbidipinnoite (TaC)

TaC-pinnoitteella on erittäin korkea sulamispiste (~3880 ℃) ja erinomainen kemiallinen inerttiys, mikä estää tehokkaasti grafiittia reagoimasta Si/C-höyryn kanssa korkeissa lämpötiloissa ja vähentää grafiittihiukkasten irtoamista ja kiteiden kontaminaatiota.

Pinnoite on tiheä ja tasainen, mikä parantaa merkittävästi grafiittirenkaan hapettumisen- ja korroosionkestävyyttä ja pidentää sen käyttöikää.

3. Erinomainen lämmönkestävyys

Sillä on alhainen lämpölaajenemiskerroin ja vahva lämpöshokin kestävyys, minkä ansiosta se soveltuu nopeaan lämpötilan nousuun ja laskuun piikarbidi-yksittäiskiteiden kasvuprosessin aikana (yli 2000 ℃).

Korkea lämmönjohtavuus varmistaa tasaisen lämpökentän jakautumisen ja parantaa kiteiden kasvun laatua.

4. Räätälöity suunnittelu

Huokoskokoa, huokoisuutta, grafiittirenkaan mittaa ja TaC-pinnoitteen paksuutta voidaan säätää asiakkaan vaatimusten mukaisesti erilaisiin piikarbidikiteen kasvatusuuneihin (kuten induktiolämmitys- tai vastuslämmitystyyppeihin) sopivaksi.

Pikatiedot:

Lempinimet: Huokoinen grafiitti, TaC-päällysteinen huokoinen grafiittirengas, grafiittirengas, tantaalikarbidipäällysteinen huokoinen grafiittirengas, huokoinen grafiittirengas SiC-kiteiden kasvuun

Tarkoitus: Varmistaa korkealaatuisten kalvojen vakaa pinnoitus PECVD-prosessissa samalla maksimoiden laitteiden tuotantotehokkuuden ja kiekkojen saannon.

Ydinparametrit: Huokoisuus: 10–30 %, pinnoitemateriaali: TaC-pinnoite, pinnoitteen paksuus: 30 ± 5 μm, enimmäiskäyttölämpötila: 2200 °C (inertti/tyhjiöympäristö), puhtaus ≥99.9999 %, lämpölaajenemiskerroin ≤5 × 10⁻⁶/K (huoneenlämpötila - 2000 °C)

tekniset parametrit

Sovellusskenaarioita

● Piikarbidin yksittäiskiteiden kasvatus (PVT-menetelmä): Upokkaana tai lämpökenttäkomponenttina sitä käytetään piikarbidiraaka-aineiden sublimoimiseen ja kidepinnoitukseen korkeissa lämpötiloissa.

● Muiden korkean lämpötilan puolijohdemateriaalien valmistus: kuten laajan kaistanleveyden puolijohteiden, kuten GaN:n ja AlN:n, kiteenkasvatusprosessit.

● Pitkä käyttöikä: 

TaC-pinnoite vähentää merkittävästi grafiittihävikkiä, alentaa vaihtotiheyttä ja säästää kustannuksia.

● Korkealaatuinen kristalli: 

Vähentää hiukkaskontaminaatiota ja parantaa piikarbidi-yksittäiskiteiden puhtautta ja kiteistä eheyttä.

● Luotettava toimitus: 

Tiukka laadunvalvontajärjestelmä varmistaa erän tasaisuuden ja tukee laajamittaisen tuotannon vaatimuksia.

● Huoltotuki:

Tarjoa teknistä konsultointia, lämpökentän suunnittelun optimointia ja myynnin jälkeisiä seurantapalveluita.

Tukee epästandardia mukauttamista erityisten prosessivaatimusten täyttämiseksi.

● Soveltuvat asiakkaat: 

Piikarbidialustojen valmistajat, puolijohdelaitteiden valmistajat, tutkimuslaitokset jne.

Lisätietoja tai näytetestejä varten ota meihin yhteyttä!