EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Tantaalikarbidipäällysteinen upokas
Semixlabin tantaalikarbidipinnoitettu (TaC) upokas on erityisesti suunniteltu puolijohdeteollisuudessa käytettäviin korkeisiin lämpötiloihin ja kemiallisesti aggressiivisiin ympäristöihin. Tiheällä CVD TaC -pinnoitteella varustettu upokas tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, korroosionestosuojan ja rakenteellisen vakauden, mikä tekee siitä ihanteellisen piikarbidiepitaksiaan, GaN-kasvatussovelluksiin ja CVD/ALD-sovelluksiin. Paranna prosessisi luotettavuutta ja vähennä kontaminaatioriskejä ensiluokkaisella upokasteknologiallamme.
Tuotetiedot
Semixlab-palvelut
Semixlabilla ymmärrämme puolijohdealan tutkimus- ja kehitystyön sekä tuotantoympäristöjen ainutlaatuiset vaatimukset. Tarjoamme:
● Mukautetut valmistuspalvelut
Räätälöidyt upokkaat erilaisilla geometrioilla, paksuuksilla ja pinnoitevaatimuksilla vastaamaan tiettyjä prosessitarpeita.
● Pienerä- ja prototyyppitilaukset
Joustavat tilausmäärät sopivat erinomaisesti pilottilinjoille, akateemiseen tutkimukseen tai varhaisen vaiheen kehitykseen.
● Nopeat toimitusajat ja maailmanlaajuinen toimitus
Nopeat tuotantosyklit ja maailmanlaajuinen toimitus tukevat aikatauluasi ja skaalaustarpeitasi.
tekniset tiedot
| TaC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet | |
| Tiheys | 14.3 (g/cm³) |
| Ominaisemissiokyky | 0.3 |
| Lämpölaajenemiskerroin | 6.3*10-6/K |
| Kovuus (HK) | 2000 HK |
| vastus | 1 × 10-5 Ohm*cm |
| Lämpöstabiilisuus | <2500 ℃ |
| Grafiitin koko muuttuu | -10-20um |
| Pinnoitteen paksuus | ≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
Sovellukset
Yhdistämällä TAC-pinnoitteiden ainutlaatuiset fyysiset edut ensiluokkaisen grafiitin erinomaisiin ominaisuuksiin, tantaalikarbidipinnoitettua upokastamme käytetään pääasiassa seuraavissa puolijohdeprosesseissa:
▶ MOCVD- ja HVPE-upokkaat
▶ SiC:n, GaN:n ja GaAs:n epitaksiaalinen kasvu
▶ Korkean lämpötilan hehkutus ja sulatus
▶ Edistyneet kiekkojen valmistuslaitteet
Semixlab TaC-päällystetyllä upokkaalla on ratkaiseva rooli edistyneessä puolijohdevalmistuksessa, erityisesti prosesseissa, jotka vaativat erittäin korkeaa lämpötilastabiilisuutta, minimaalista kontaminaatiota ja kemikaalien kestävyyttä – kuten epitaksia, kiteenkasvatus ja kemiallinen höyrypinnoitus (CVD). Tarjoamalla kemiallisesti inertin suojan ja poikkeuksellisen lämmönkestävyyden TaC-päällystetyt upokkaat varmistavat prosessin eheyden, materiaalin puhtauden ja laitteiden pitkäikäisyyden erilaisissa vaativissa valmistusvaiheissa.
Mukautettavien mittojen, pinnoitteen paksuuden ja pienten erien tuen ansiosta Semixlab tarjoaa räätälöityjä ratkaisuja edistyneen puolijohdevalmistuksen vaatimuksiin. Toivomme vilpittömästi, että meistä tulee pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.
Kilpailuetu
Tärkeimmät edut: Tantaalikarbidin fysikaaliset ominaisuudet
Tantaalikarbidi (TaC) tunnetaan erittäin korkeasta sulamispisteestään (~3880 °C), poikkeuksellisesta kovuudestaan ja kemiallisesta inerttiydestään, mikä tekee siitä ihanteellisen suojapinnoitteen puolijohdeympäristöissä käytettäville grafiittiupokkaille. TaC-pinnoitteen käyttö tuo mukanaan seuraavat suorituskykyedut:
● Äärimmäinen lämmönkestävyys
Kestää erittäin korkeita lämpötiloja ilman muodonmuutosta tai hajoamista, mikä mahdollistaa vakaat olosuhteet kiteiden kasvulle ja korkean lämpötilan prosessoinnille.
● Kemiallinen inerttiys
Kestää aggressiivisia halogeenipohjaisia kaasuja ja happoja, joita tyypillisesti käytetään epitaksia- ja etsausprosesseissa, estäen ristikontaminaation.
● Minimaalinen hiukkasten muodostuminen
TaC-kerroksen tiheä ja sileä pinta estää hilseilyä ja hiukkasten irtoamista, mikä varmistaa alhaisen vikapitoisuuden puhdastilaympäristöissä.
● Erinomainen lämmönjohtavuus
Varmistaa tasaisen lämmönjakautumisen materiaalin käsittelyn aikana, mikä parantaa saantoa ja tasaisuutta.
Johtavien toimittajien perusmateriaalit
Upokkaamme valmistetaan huippuluokan toimittajilta, kuten TOYO TANSOlta (Japani), hankituista erittäin puhtaista grafiittialustoista, mikä varmistaa rakenteellisen eheyden ja pinnoitteen yhteensopivuuden. Ensiluokkaisen grafiitin ja edistyneen TaC-pinnoitteen synergia parantaa sekä kestävyyttä että suorituskykyä vaativimmissakin olosuhteissa.
palvelumme
Semixlab-tuotekauppa
