Puolijohdekvartsikiekkovene

Semixlab Semiconductor Quartz -kiekkovene on keskeinen laakerityökalu, joka on suunniteltu puolijohdevalmistuksen korkean lämpötilan prosesseihin, kuten diffuusioon, hapetukseen, CVD:hen, hehkutukseen jne. Se on valmistettu erittäin puhtaasta synteettisestä kvartsista, jolla on erinomainen lämmönkestävyys, kemiallinen stabiilius ja alhainen lämpölaajenemiskerroin, joten se voi kantaa kiekkoja vakaasti ankarissa prosessiympäristöissä varmistaen prosessin tasaisuuden ja tuotteen saannon.

Sovellettavat laitteet: Yhteensopiva kaikenlaisten vaaka-/pystysuuntaisten diffuusiouunien (vaaka-/pystysuuntainen diffuusiouuni), LPCVD-järjestelmien ja nopean lämpökäsittelyn (RTP) laitteiden kanssa.

Laatuvakuutus

Strict quality control: 100% helium mass spectrometry leak detection (leakage rate <1×10⁻⁹ mbar·L/s). Material purity report (ICP-MS test) is issued for each batch.

Sertifiointistandardit: SEMI F47 -spesifikaatioiden mukainen, ISO 9001:2015 -laatujärjestelmän sertifioinnin kautta.

Käyttöikä: keskimääräinen käyttöikä normaaleissa olosuhteissa on yli 2 vuotta (riippuen prosessitiheydestä ja lämpötilaolosuhteista).

Miksi valita kvartsiveneemme?

Räätälöidyt palvelut: Räätälöity koko ja rakenne laitemallin (TEL, Kokusai, ASM jne.) ja prosessivaatimusten mukaan.

Nopea vastaus: Normaali toimitusaika on 3 viikkoa, kiireellisissä tilauksissa toimitusaikaa voidaan lyhentää 10 arkipäivään.

Globaali palveluverkosto: Tarjoamme teknistä neuvontaa, asennusohjeita ja huoltopalveluita. Materiaalitiedot.

Hankkeen erittely

Materiaalisynteesi Sulatettu kvartsi

Puhtaus ≥99.99 % SiO₂

Kiekkojen kokoyhteensopivuus 8", 12" (voidaan räätälöidä 6" tai 18")

Käyttölämpötila ≤1200°C (jatkuva) / 1300°C (huippu)

Lämpölaajenemiskerroin (CTE) 0.55 × 10⁻⁶/°C (20–1000 °C)

Pinnan karheus (Ra) ≤0.2 μm

Vakiokapasiteetti 25/50/100 tablettia

Sovellettavat prosessikaasut O₂, N₂, H₂, Ar, SiH₄, HCl jne.

Korkean lämpötilan hapetus/diffuusio: piin doping (fosfori, boorin diffuusio), porttioksidin kasvu.

Ohutkalvopinnoitus: LPCVD-polykiteinen pii, piinitridi (Si₃N₄) -pinnoitus.

Hehkutusprosessi: hehkutus ioni-istutuksen jälkeen (RTA), metalliseostus.

Kolmannen sukupolven puolijohde: piikarbidi (SiC), galliumnitridi (GaN) epitaksiprosessi.

1. Materiaalin ominaisuudet

Erittäin puhdasta kvartsia (>99.99 % SiO₂): välttää metalli-ionien (Na+, K+, Fe³+ jne.) aiheuttamaa saastumista ja täyttää edistyneiden prosessien (<5 nm:n solmut) puhtausvaatimukset.

Korkea lämmönkesto: jatkuva käyttölämpötila 1200 °C, hetkellinen lämmönkesto 1300 °C, ei muodonmuutos- tai kiteytymisriskiä.

Kemiallinen inerttiys: Kestää prosessikaasuja, kuten HCl:a, H₂:ta, O₂:ta, SiH₄:a ja happamia/emäksisiä ympäristöjä. Ei syövytä pitkäaikaisessa käytössä.

2. Tarkkuussuunnittelu

Optimoi rakenne:

Uran välistyksen tarkkuus on ±0.05 mm, mikä varmistaa kiekkojen tarkan sijoittelun (8/12 tuumaa) ja estää naarmuja tai siirtymiä.

Lämpöshokkinkestävä rakenne, mukautuu nopeaan nousuun ja laskuun (lämmitysnopeus ≤20 °C/min).

Vähäinen hiukkasten muodostuminen: Pinta on erittäin tarkasti kiillotettu (Ra ≤0.2 μm) hiukkasten kiinnittymisen ja irtoamisen vähentämiseksi.

3. Monipuolinen kokoonpano

Kapasiteetti valinnainen: Tukee 25 kappaletta, 50 kappaletta, 100 kappaletta ja muita vakiomäärityksiä, voidaan myös mukauttaa ei-standardin mukaisen korttipaikan numeron mukaan.

Tyypin mukautus: Avovene, suljettu vene tai erityinen venetyyppi (kuten veneen pohjan ohjauskanavan suunnittelu).

K1: Voitteko tarjota epästandardikokoisia tai erikoissuunnittelua?

A1: Semixlab tukee räätälöityjä palveluita, mukaan lukien koon säätö, lämpötilan yläraja (materiaalin päivitys vaaditaan) tai rajapinnan tyyppi. Ota yhteyttä Semixlabin tekniseen tiimiin saadaksesi lisätietoja.

Q2: Kuinka pitkä toimitusaika on?

A2: Vakiotuotteiden toimitusaika on 4–6 viikkoa ja mittatilaustuotteiden suunnittelu- ja tarkastusaika 2–3 viikkoa.

K3: Tarjoatteko myynnin jälkeistä teknistä tukea?

A3: Kyllä, tarjoamme elinikäistä teknistä konsultointia ja hätäapupalveluita. Asennus- tai käyttöongelmien ilmetessä tukitiimiin voi ottaa yhteyttä milloin tahansa sähköpostitse tai puhelimitse.

K4: Täyttääkö tuote puolijohdeteollisuuden standardit?

A4: Kyllä, tuotantoprosessi on SEMI-standardien mukainen ja ISO 9001 -laatujärjestelmän mukainen. Jokainen erä testataan ilmatiiviyden, lämmönkestävyyden ja puhtauden osalta ennen tehtaalta lähtöä.