Erittäin puhdasta isostaattista grafiittia puolijohteisiin

Semixlab Korkean puhtauden, hienorakeisen rakenteen, tasaisen tiheyden, lämmönshokinkestävyyden ja erinomaisen työstettävyyden ansiosta erittäin puhdasta isostaattista grafiittia käytetään laajalti puolijohdeteollisuudessa. Alla on lueteltu tärkeimmät valmiit tuotteet ja niiden vastaavat roolit kriittisissä prosesseissa:

Isostaattinen grafiitti puolijohdesovelluksiin

1. MOCVD-menetelmällä (metalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus)

MOCVD on GaN:n, GaAs:n ja SiC:n epitaksiaalisten kerrosten valmistuksen ydinprosessi. Isostaattista grafiittia käytetään yleisesti seuraavien valmistukseen:

● Suskeptorit: Toimivat kiekkojen kantajina, jotka pitävät ja pyörittävät kiekkoja reaktorin sisällä. Ne tarjoavat tasaisen lämmönsiirron, mikä varmistaa epitaksiaalisen kasvun tasaisena kiekon pinnalla. Tyypillisesti päällystetty CVD-piikarbidilla tai takarbidilla kemikaalien kestävyyden parantamiseksi ja käyttöiän pidentämiseksi.

● Kiekkokuljettimet / grafiittiveneet: Käytetään useiden kiekkojen samanaikaiseen lataamiseen. Ne vaativat tarkkaa työstöä kiekkojen tasaisuuden säilyttämiseksi ja kontaminaation välttämiseksi.

● Lämmityselementit: Grafiittilämmittimet tarjoavat vakaat ja tasaiset lämpökentät, jotka ovat välttämättömiä korkealaatuiselle epitaksialle.

Keskeinen rooli: Isostaattinen grafiitti varmistaa lämpötilan tasaisuuden, kemiallisen stabiilisuuden ja pitkän käyttöiän, mikä vaikuttaa suoraan epitaksiaalisen kalvon laatuun.

2. Hehkutus- ja diffuusiouuneissa

Korkean lämpötilan lämpökäsittelyvaiheet, kuten seostusaineiden diffuusio, hapetus ja hehkutus, ovat erittäin riippuvaisia ​​isostaattisista grafiittikomponenteista, mukaan lukien:

● Diffuusiouunin veneet: Pitävät kiekkoja korkean lämpötilan hehkutus- ja seostusaineiden diffuusioprosessien aikana. Grafiitti tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden ja minimoi muodonmuutoksen toistuvissa lämpösykleissä.

● Vuoraukset ja eristyskomponentit: Grafiittivuoraukset ja -suojat suojaavat uunin kammioita likaantumiselta ja parantavat lämpötilan tasaisuutta.

● Lämmitysputket ja -elementit: Käytetään vastuslämmittiminä korkeissa lämpötiloissa, ja ne tuottavat tarkkaa ja tasaista lämpöä.

Keskeinen rooli: Isostaattiset grafiittikomponentit mahdollistavat kontaminaatiovapaan, vakaan ja toistettavan lämpökäsittelyn, mikä on ratkaisevan tärkeää seostusaineiden aktivoinnille ja virheiden vähentämiselle.

3. Piikarbidin epitaksiassa (4H-SiC, 6H-SiC kasvu)

Piikarbidin epitaksiaalinen kasvu vaatii erittäin korkeita lämpötiloja (> 1500 °C) ja syövyttäviä kaasuympäristöjä. Isostaattista grafiittia käytetään seuraavien valmistukseen:

● Piikarbidipinnoitetut suskeptorit: Tarjoavat alustalle tukea piikarbidiepitaksian aikana varmistaen erinomaisen lämmönjaon ja pinnan vakauden äärimmäisissä olosuhteissa.

● Grafiittilapat ja kiekkojen pidikkeet: Kiinnittävät kiekot pyörimisen ja kaasun virtauksen aikana varmistaen tasaisen kasvunopeuden ja kerrospaksuuden.

● Prosessiputkien komponentit: Epitaksireaktoreiden sisällä olevat grafiittirakenteelliset osat kestävät aggressiivisia ympäristöjä säilyttäen samalla puhtautensa.

Keskeinen rooli: Isostaattinen grafiitti piikarbidiepitaksiassa tarjoaa mittatarkkuutta, kemikaalien kestävyyttä ja luotettavaa lämmönhallintaa, jotka vaikuttavat suoraan kiekkojen saantoon ja epitaksiaalisen kalvon tasaisuuteen.

Kiinan johtavana erittäin puhtaan isostaattisen grafiitin toimittajana Semixlab on sitoutunut tarjoamaan edistyneitä tuotteita ja teknisiä ratkaisuja puolijohdeteollisuudelle. Otamme mielellämme vastaan ​​tiedustelujasi milloin tahansa ja toivomme vilpittömästi, että meistä tulee pitkäaikainen kumppanisi.