Korkean puhtauden piikarbidivene

Erittäin puhdas piikarbidi (SiC) -vene on erittäin suorituskykyinen keraaminen kantaja, joka on suunniteltu korkean lämpötilan puolijohdeprosesseihin, kiteiden kasvatukseen ja tarkkuuslämpökäsittelyyn. Se on sintrattu erittäin puhtaalla piikarbidimateriaalilla, ja sillä on erinomainen lämmönkestävyys, lämmönshokin kestävyys ja kemiallinen stabiilius. Sitä käytetään laajalti puolijohteiden diffuusiossa, CVD-menetelmässä, LED-epitaksiassa ja aurinkosähköisten yksittäisten kiteiden kasvatuksessa.

Sovellus:

Korkean puhtauden piikarbidi (SiC) -veneet ovat keskeinen puolijohdeprosessien kulutusmateriaali, jota käytetään pääasiassa kiekkojen kuljettamiseen ja siirtämiseen korkeissa lämpötiloissa, ja sitä käytetään laajalti piikiekkojen diffuusio-, hapetus-, hehkutus- ja CVD-prosesseissa. Se soveltuu erityisesti kolmannen sukupolven puolijohteiden (kuten SiC/GaN) ja teholaitteiden korkean lämpötilan prosesseihin.

Palvelut, joita voidaan tarjota:

asiakassovellusskenaarioiden analysointi, materiaalien yhteensopivuus, tekninen ongelmanratkaisu.

Yrityksen profiili:

Semixlabilla on 2 laboratoriota, asiantuntijatiimi, jolla on 20 vuoden materiaalikokemus sekä T&K- ja tuotanto-, testaus- ja todentamisominaisuudet.

Tekniset parametrit

Pääsovelluskentät

Ekologisen ketjun varmennuksen hyväksyntä

Semixlab High-Purity SiC -veneen ekologisen ketjun varmennus kattaa raaka-aineet tuotantoon, se on läpäissyt kansainvälisen standardin sertifioinnin ja sillä on useita patentoituja teknologioita, jotka varmistavat sen luotettavuuden ja kestävyyden puolijohde- ja uusien energialähteiden aloilla.

Tyypillinen hakuprosessi

Raaka-aineen valmistelu (erittäin puhdas piikarbidijauhe) → Muovausprosessi (kuivapuristus/isostaattinen puristus) → Sintrausprosessi → Koneistus ja pinnan viimeistely (CNC-hionta/kiillotus, kemiallinen etsaus, hehkutus) → Puhdistus ja CVD-pinnoitus → Laadunvalvonta → Pakkaus

Huippuluokan prosessiparametrien optimoinnin ansiosta Semixlab High-Purity SiC Boatin ainutlaatuinen rakennesuunnittelu varmistaa erinomaisen kiekkojen vakauden ja vähentää samalla merkittävästi hiukkaskontaminaation riskiä. Sen käyttöikä voi olla 5–8 kertaa pidempi kuin perinteisillä kvartsiveneillä, mikä tekee siitä ihanteellisen kantoaineratkaisun korkean lämpötilan kiekkojen käsittelyyn. Tämän innovaation ansiosta se voi vähitellen korvata tuonnin puolijohdemarkkinoilla ja tarjota tehokkaan ja kustannustehokkaan kotimaisen ratkaisun.

Saat yksityiskohtaisia ​​teknisiä tietoja, white papereita tai näytetestausjärjestelyjä ottamalla yhteyttä tekniseen tukitiimiimme ja selvittämällä, miten Semixlab voi parantaa prosessiesi tehokkuutta.

Semixlabin erittäin puhtaan piikarbidin (SiC) veneen ytimen edut

1. Äärimmäinen puhtaus (tärkein etu)

Semixlabin erittäin puhdas piikarbidivene on erittäin puhdasta (≥99.9999 %), ja epäpuhtauksien (Fe, Al, Na jne.) pitoisuus on säädetty 1 ppm:n tasolle kiekkojen tai epitaksiaalisten materiaalien kontaminaation välttämiseksi, mikä soveltuu erityisesti piikarbidi/ganiinipuolijohteiden valmistukseen.

2. Kemiallinen inerttiys (korroosionkestävyys)

Kestää happoja, alkaleja/plasmaeroosiota ja syövyttäviä kaasuja, kuten HF:ää, HCl:a ja H2:ta (kuten puolijohteiden etsausprosesseissa). Ei kaasun vapautumista korkeissa lämpötiloissa.

3. Mekaaninen lujuus ja käyttöikä

Erittäin korkea kovuus, erinomainen kulutuskestävyys, vähentää hiukkasten irtoamisen riskiä ja pidentää käyttöikää (yleensä 3–5 kertaa kvartsiveneen käyttöikää). Ei muodonmuutosten herkkä korkeissa lämpötiloissa, säilyttää kiekon tasaisuuden (kuten vääntyminen diffuusiouunissa <0.1 mm).

4. Prosessien yhteensopivuus

Sopii monenlaisiin vaativiin ympäristöihin, hapetus-/pelkistysatmosfäärien (kuten O2, H2, Ar) ja CVD/PVD-pinnoitusprosessien tarpeisiin. Pintaa voidaan muokata, kuten kiillottamalla (Ra<0.1μm) tai pinnoittamalla (kuten SiO2) kontaminaation vähentämiseksi entisestään.