EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Piikarbidi Sic huokoinen keraaminen levy
Semixlabin piikarbidista (SiC) valmistettu huokoinen keraaminen levy on suunniteltu tehokkaisiin puolijohdekiekkojen käsittelysovelluksiin, jotka vaativat tarkkuutta, puhtautta ja kestävyyttä. Kontrolloidun mikrohuokoisuuden, erinomaisen lämmönjohtavuuden ja kemiallisen inertian ansiosta tällä komponentilla on ratkaiseva rooli tyhjiöistukoissa, kemiallisessa mekaanisessa kiillotuksessa (CMP), epitaksiassa ja kiekkojen käsittelyjärjestelmissä.
Tuotetiedot
Ihanteellinen: CMP-alustoille, MOCVD-epitaksireaktoreille, kiekkojen siirtomoduuleille, plasmanpuhdistusjärjestelmille ja ESC-substraattikokoonpanoille.
Ⅰ. Materiaalikoostumus ja fysikaaliset ominaisuudet
Erittäin puhdas piikarbidikeramiikkarakenne
Jokainen huokoinen levy on valmistettu ≥99.9 %:sti ultrapuhtaasta α-SiC- tai β-SiC-jauheesta, ja se valmistetaan tarkasti kontrolloiduilla sintraus- ja tunkeutumisprosesseilla. Tuloksena on yhtenäinen huokosverkosto, joka varmistaa vakaan kaasun virtauksen ja mekaanisen eheyden äärimmäisissä käsittelyolosuhteissa.
Tärkeimmät tekniset ominaisuudet:
| Omaisuus | määrittely |
| Materiaali | α-SiC / β-SiC |
| Puhtaus | ≥ 99.9% |
| Huokoisuus | 10–40 % (säädettävä) |
| Huokoskoko | 0.1-10 μm |
| Lämmönjohtokyky | 120–200 W/m·K |
| Max käyttölämpötila | 1600-1800 ° C |
| Kovuus | Moh 9.3 |
| Kemiallinen resistanssi | Erinomainen HF:ssä, HCl:ssa, Cl₂:ssa ja H₂:ssa |
| Tiheys | 2.8–3.1 g/cm³ |
Suorituskyvyn kohokohdat:
● Tasainen tyhjiön läpäisevyys: Tarkka huokosten jakautuminen varmistaa tasapainoisen kaasun virtauksen kiekon pinnalla.
● Erinomainen lämmönkestävyys: Säilyttää mekaanisen eheyden korkeissa lämpötiloissa.
● Vähäinen hiukkasten muodostuminen: Kiillotetut piikarbidipinnat minimoivat kontaminaatioriskin.
● Erinomainen kestävyys: Pidempi käyttöikä jopa aggressiivisissa kemiallisissa ja plasmaympäristöissä.
II. Yleisiä prosessihaasteita ja Semixlabin ratkaisuja
| Haaste | Juurin syy | Semixlab-ratkaisut |
| Epätasainen imuteho | Epätasainen huokoskoko tai tukkeutuminen | Hallittu huokoskokojakauma ja säännöllinen plasmapuhdistus |
| Hiukkasten kontaminaatio | Lämpösyklien aiheuttamat mikrohalkeamat | Levitä CVD SiC -pinnoitetta pinnan vahvistamiseksi |
| Terminen epätasaisuus | Epätasainen tiheys tai kontaminaatio | Käytä korkeajohtavuutta omaavaa piikarbidia (>150 W/m`K) ja kiillotettuja pintoja |
| Kemiallinen eroosio | Pitkäaikainen altistuminen HF- tai Cl-pohjaisille kaasuille | Käytä tiheää CVD-siikarbidihybridi-sintrausta korroosionkestävyyden parantamiseksi |
| Ajan myötä heikentynyt mekaaninen lujuus | Toistuva kiekkojen kuormitusjännitys | Toissijainen tunkeutuminen murtumiskestävyyden parantamiseksi ja käyttöiän pidentämiseksi |
Semixlabin oma materiaalinhallinta ja pintakäsittelytekniikka takaavat tasaisen suorituskyvyn, pitkäaikaisen luotettavuuden ja lyhyemmät laitteiden seisokkiajat useiden prosessisyklien aikana. Tervetuloa konsultoimaan meitä saadaksesi lisätietoja teknisestä konsultoinnista ja tuotteiden räätälöintipalveluista.
Sovellukset
Sovellukset puolijohdeprosesseissa
1. Kiekkojen tyhjiökiinnitys ja käsittely
Huokoisia piikarbidilevyjä käytetään laajalti tyhjiöistukoina tai kannattimina kiekkojen lastaus- ja siirtojärjestelmissä. Niiden tarkasti suunniteltu huokoisuus varmistaa tasaisen tyhjiöimun, mikä estää kiekkojen muodonmuutoksen ja parantaa kohdistustarkkuutta.
2. Kemiallinen mekaaninen kiillotus (CMP)
CMP:n aikana huokoinen piikarbidilevy toimii kantajana tai taustalevynä, mikä mahdollistaa:
● Lietteen tasainen jakautuminen
● Vakaa kiekkotuki
● Parannettu tasomaisuus ja virheiden hallinta
Perinteiseen alumiinioksidiin tai kvartsiin verrattuna piikarbidi (SiC) tarjoaa korkeamman kovuuden ja lämmönjohtavuuden, mikä varmistaa pidemmän käyttöiän ja paremman prosessin tasaisuuden.
3. Epitaksi ja korkean lämpötilan käsittely
MOCVD- ja LPE-epitaksiaalireaktoreissa huokoinen piikarbidilevy toimii lämpösuskeptoripohjana tai tukialustana varmistaen:
● Tasainen lämmönsiirto kiekon yli
● Vakaa epitaksiaalisen kerroksen paksuus
● Korkea vastustuskyky reaktiivisille prosessikaasuille
4. Märkä- ja plasmapuhdistusjärjestelmät
Kemiallisen ja plasmakorroosionkestävyytensä ansiosta huokoinen piikarbidilevy toimii tehokkaasti kaasudiffuusiolevynä tai kemiallisena suodatusalustana märkätiloissa ja puhdistuskammioissa.
5. ESC (sähköstaattinen istukka) -pohjakerros
Edistyneissä kiekkovaiheissa huokoiset piikarbidikeramiikat toimivat ESC-piirien lämpöpohjina yhdistäen erinomaisen lämmönsiirron ja sähköeristyksen tarkkaa kiekkojen lämpötilan säätöä varten.
palvelumme
Semixlab-tuotekauppa
