EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Huokoinen keraaminen Tyhjiöistukka
Pikatiedot:
1. Muut nimet: Huokoinen keraaminen tyhjiöistukka, huokoinen piikarbidi-istukka, huokoinen istukka.
2. Sovellus: Tehokas tyhjiöadsorptiolaite, joka on suunniteltu kiekkojen ja harkkojen tarkkaan adsorptioon ja kiinnitykseen. Se soveltuu puolijohdevalmistukseen, kiekkojen leikkaamiseen, tarkkuuskoneistukseen, korkean lämpötilan epitaksiaan, etsaukseen, ioni-istutukseen ja muihin skenaarioihin.
3. Keskeiset parametrit:
Huokoisuus säädettävissä (10-200 μm).
Erittäin korkea lämpötila (≤1600 °C), erinomainen lämmönkestävyys.
Adsorptioimu: vakio -90 kPa (voidaan mukauttaa 100 kPa:iin).
Imukupin koko: Tukee 4/6/8/12 tuuman kiekkoja, harkon kokoa voidaan mukauttaa.
Tuotetiedot
Keraaminen tyhjiöistukka on tehokas tyhjiöadsorptiolaite, joka on suunniteltu kiekkojen ja harkkojen tarkkaan adsorboimiseen ja kiinnittämiseen. Siinä on huokoisen keraamisen ja metallisen ulkorenkaan komposiittirakenne yhdistettynä räätälöityihin ilmakanaviin ja huokosiin, jotka takaavat tasaisen adsorptiovoiman jakautumisen ja korkean vakauden. Sopii puolijohdevalmistukseen, kiekkojen leikkaukseen, tarkkuuskoneistukseen ja muihin tarkoituksiin, tukee korkeita lämpötiloja ja nopeita liikeympäristöjä ja täyttää erikokoisten kiekkojen/harkkojen yhteensopivuusvaatimukset.
asiakaskohtaisia palveluratkaisuja
Koon ja kuorman mukauttaminen
Ilmarakojen ja hengitysteiden optimointi
Erityisympäristöön sopeutuminen
Suunnitteluesimerkki
Sovellukset
Puolijohteiden valmistus
Epitaksiaalinen kasvu: Piikarbidikiekoiden vakaa adsorptio korkeissa lämpötiloissa vääntymisen ja kontaminaation välttämiseksi.
Litografia ja etsaus: Tarkka asemointi nopealla liikkuvalla alustalla (kiihtyvyys ≤10G) graafisen kohdistuksen tarkkuuden varmistamiseksi.
Harkkojen käsittely
Leikkaus ja hionta: Raskaiden kideharkkojen (kuten safiirin tai piikarbidin harkon) adsorptio tärinän aiheuttaman reunan halkeilun estämiseksi.
Tieteellinen tutkimus ja erikoisteknologia
Korkean lämpötilan hehkutus: huokoiset piikarbidi-imukupit toimivat pitkään 1600 °C:ssa ilman muodonmuutoksia ja ilmaavaa saastumista.
Tyhjiöpinnoitus: Erittäin ilmatiiviys, yhteensopiva PVD/CVD-onteloympäristön kanssa.
Kilpailuetu
Ydinrakenne ja materiaaliedut
1. Monikerroksinen komposiittisuunnittelu
Pintakerros: Huokoinen keraaminen (valinnainen huokoinen piikarbidi tai huokoinen grafiitti), aukko säädettävissä (10-200 μm) adsorptiovoiman tasaisen siirtymisen varmistamiseksi kiekon pinnalle ja paikallisen jännityskeskittymän välttämiseksi.
Matriisi: Erittäin jäykkä metallirunko (ruostumatonta terästä tai alumiiniseosta) rakenteellisen tuen ja ilmatiiviyden takaamiseksi.
Hengitystiet ja huokoset: Tarkkaan työstettyjen hengitysteiden sisäinen verkosto ja tasaisesti jakautuneet mikrohuokoset mahdollistavat nopean tyhjiöiton (adsorptiovoima jopa -90 kPa) ja välittömän vapautumisen.
2. Materiaalien ominaisuuksien vertailu
| Materiaali | Huokoinen piikarbidi | Huokoinen grafiitti |
| Lämpötilan kestävyys | Erittäin korkea lämpötila (≤1600 °C), erinomainen lämmönkestävyys | Keskikorkea lämpötila (≤800 °C), parempi lämmönjohtavuus |
| Kemiallinen kestävyys | Happo- ja alkalikorroosionkestävyys, plasmakorroosionkestävyys | Kestää hapettumattomia kaasuja, alhaisemmat kustannukset |
| Sovellettava kohtaus | Korkean lämpötilan epitaksi, etsaus, ioni-implantaatio | Kiekkojen leikkaus, hionta, pakkaus |
3. Keskeiset suorituskyky- ja tekniset parametrit
| Tuotetiedot | Huomautus |
| Istukan koko | Tukee 4/6/8/12 tuuman kiekkoja, harkon kokoa voidaan mukauttaa |
| Ladataan | Yhden levyn enimmäiskuorma 50 kg (korkeus ≤300 mm) |
| Käyttölämpötila | Huokoinen piikarbidi: -50°C~1600°C; Huokoinen grafiitti: -50°C~800°C |
| Adsorptio tyhjiö | Vakio -90 kPa (muokattavissa arvoon -100 kPa) |
FAQ
K: Miten valita huokoinen piikarbidi- ja grafiitti-istukka? Mitkä ovat huokoisen piikarbidin ja huokoisen grafiitti-istukan tärkeimmät erot korkean lämpötilan prosesseissa? Miten valita oikea materiaali käyttötarkoitukseen?
A: Huokoinen piikarbidistukka:
Lämpötilan kestävyys: voi toimia vakaasti äärimmäisen korkeissa lämpötiloissa ≤1600 °C (kuten piikarbidiepitaksia, korkean lämpötilan hehkutus), erinomainen lämmönkestävyys, sopii äkillisiin lämpötilanvaihteluihin.
Korroosionkestävyys: kestää vahvaa happoa, alkalia ja plasmaeroosiota, soveltuu etsaukseen, ioni-istutukseen ja muihin syövyttäviin kaasuprosesseihin.
Huokoinen grafiitti-istukka:
Lämmönjohtavuus: Korkeampi lämmönjohtavuus (200–400 W/m·K), sopii tilanteisiin, jotka vaativat nopeaa lämmönsiirtoa (kuten kiekkojen leikkauksen lämmönpoisto).
Taloudellisuus: Edullinen, sopii ≤800 °C:n keskilämpötilaan (kuten pakkaukseen, jauhamiseen).
Valintaehdotukset:
Jos prosessilämpötila on > 800 °C tai vaaditaan korroosionkestävyyttä, huokoinen piikarbidi on parempi vaihtoehto; jos tavoitteena on kustannustehokas ja alhainen prosessilämpötila, voidaan valita huokoinen grafiitti.
