EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
PECVD Grafiittivene PV:lle
| Lähtöpaikkakunta: | Kiina |
| Merkki: | Semixlab |
| Mallinumero: | PGBPV-01 |
| Certification: | ISO9001 |
| Minimitilausmäärä: | 1 sarja |
| Hinta: | Ota yhteyttä räätälöityä tarjousta varten |
| Pakkaus tiedot: | Standardi vientipaketti |
| Toimitusaika: | Toimitusaika: 20-35 päivää tilauksen vahvistamisen jälkeen |
| Maksuehdot: | T / T |
| Supply Ability: | 500 sarjaa/kk |
Tuotetiedot
PECVD-vene (plasma-enhanced chemical vapour deposition vene) on aurinkosähköteollisuudelle erityisesti suunniteltu prosessilaitteisto, jota käytetään tehokkaan aurinkokennojen tuotannon ohutkalvopinnoitusvaiheessa. Se on valmistettu erittäin puhtaista ja korkeita lämpötiloja kestävistä materiaaleista ja toimii vakaasti ankarassa PECVD-prosessiympäristössä varmistaen tasaisen kalvopinnoitteen piikiekoille ja auttaen parantamaan kennojen konversiotehokkuutta ja pitkäaikaista luotettavuutta. Tämä tuote soveltuu piinitridin (SiNx) tai muiden funktionaalisten kalvojen pinnoittamiseen tehokkaissa aurinkokennoissa, kuten yksikiteisissä/monikiteisissä piikiekoissa, TOPCon- ja HJT-kennoissa, ja se on välttämätön kulutustarvike aurinkokennojen massatuotantolinjoissa.
Tekniset parametrit
Materiaali: Valmistettu isostaattisesta grafiitista (puhtaus ≥ 99.99 %), kestää jopa 1200 °C:n hetkellisen lämpötilan ja toistuvia kylmä- ja kuumasyklejä PECVD-prosessissa. Lämpölaajenemiskerroin on vain 4.5 × 10⁻⁶/°C, mikä estää halkeilua ja muodonmuutoksia. Käyttöikä on yli 30 % pidempi kuin perinteisillä materiaaleilla.
Super yhtenäinen lämpökentän suunnittelu
Grafiitin korkea lämmönjohtavuus (100–120 W/m·K) yhdistettynä hunajakennomaiseen ilmakanavarakenteeseen mahdollistaa nopean ja tasaisen lämmönjohtavuuden reaktiokammiossa. Piikiekkojen välinen lämpötilaero on ≤ ±2 °C, ja kalvon paksuuden tasaisuus on ±2.5 % (alan johtava).
Vähäkontaminaatioinen pintakäsittelytekniikka
Pinta käsitellään tiheällä piikarbidipinnoitteella (SiC) tai erittäin pehmeällä kiillotusprosessilla (Ra ≤ 0.2 μm), joka estää grafiittijauheen irtoamisen ja pitää hiukkasten vapautumisnopeuden alle 5 hiukkasessa/cm², täyttäen siten huippuluokan aurinkokennojen valmistusprosessien puhtausvaatimukset.
Hapettumisenesto ja pitkä käyttöikä
Valinnaisia gradienttikomposiittihapettumisenestopinnoitteita (kuten Al₂O₃/SiC-monikerrosrakenne) voidaan valita, mikä parantaa hapettumisenestokykyä jopa viisinkertaisesti korkean lämpötilan happea sisältävissä ympäristöissä. Käyttöikä ylittää 1500 sykliä, mikä alentaa merkittävästi tuotantokustannuksia wattia kohden.
Miksi valita grafiittinen PECVD-vene?
Aurinkosähköprosessien mukauttaminen: Räätälöidyt huokoisuus- ja pinnanmuokkausratkaisut TOPCon-fosforipiilolasin (PSG) pinnoitenpoistoon, HJT-matalalämpötilapinnoitukseen ja muihin erityisvaatimuksiin.
Kustannustehokkuus: grafiittimateriaalien luonnollinen kustannusetu + pitkä käyttöikä, kokonaiskustannukset pienenevät yli 40 % keraamisiin ajoneuvoihin verrattuna.
Global verification and reliability: The product is used in the global more than 50GW photovoltaic production line, failure rate < 0.1%.
Semixlab PECVD -venekotelot:
Pinnoitteen tasaisuus: ±2.8 % → ±2.1 % (optimoitu 25 %)
Rungon vaihtoväli: 800 kertaa → 1300 kertaa (62.5 %:n pidennys)
Sovellettava lämpötila: ≤800°C
Piisiruyhteensopivuus: 125 mm × 125 mm - 210 mm × 210 mm (tukee räätälöintiä)
Käyttöikä: ≥1000 kertaa (riippuen tietyistä prosessiolosuhteista)
Pinnan karheus: Ra≤0.5μm (alhaisen hiukkasten saastumisen varmistamiseksi)
Pikatiedot:
1. Muut nimet: PECVD-vene, grafiittivene PECVD-prosessiin, PECVD-vene (plasma-tehostettu kemiallinen höyrypinnoituskantajavene).
2. Sovellus: aurinkosähköteollisuus, jota käytetään tehokkaan aurinkokennojen tuotannon ohutkalvopinnoitusvaiheessa.
3. Ydinparametrit: Puhtaus ≥99.995 %, tiheys 1.80–1.85 g/cm³.
tekniset tiedot
| projekti | Grafiitti-PECVD-veneen parametrit |
| Matriisimateriaali | Isostaattisesti puristettu grafiitti (tiheys ≥1.85 g/cm³, tuhka ≤50 ppm) |
| Suurin käyttölämpötila | 1200 °C (välitön) / 800 °C (jatkuva) |
| Pinnoitteen tasaisuus | ±2.5 % (sirun sisällä) / ±3 % (sirujen välillä) |
| Pinnan karheus | Ra≤0.2μm (kiillotettu tyyppi) / Ra≤0.4μm (pinnoitettu tyyppi) |
| Joustava lujuus | ≥60MPa (rakenteellisen vakauden varmistamiseksi suuressa kuormituksessa) |
| Yhteensopiva prosessi | SiNx, SiO₂, amorfisen pii(a-Si) kalvopinnoitus |
Sovellukset
Tyypillisiä sovellusskenaarioita
Yksikiteinen PERC-kenno piinitridin heijastuksenestokalvopinnoitus.
TOPCon-kennotunnelointioksidikerroksen ja polykiteisen piikerroksen valmistus.
HJT-kennon amorfisen piikalvon laskeutumisprosessi.
Kilpailuetu
Erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys: Käyttämällä erittäin puhdasta grafiittia tai räätälöityjä keraamisia komposiittimateriaaleja se kestää jopa 800 °C:n jatkuvaa korkeaa lämpötilaa PECVD-prosessissa ilman muodonmuutoksia tai kontaminaatiota, mikä varmistaa pitkäaikaisen vakauden.
Tarkka tasalaatuisuus: Optimoitu urarakenne ja pintakäsittelytekniikka takaavat piikiekkojen tasaisen kuumennuksen laskeutumisprosessin aikana, ja kalvon paksuuden tasaisuus on ±3 %:n sisällä, mikä parantaa merkittävästi akun tehokkuutta ja saantoa.
Vähäinen kontaminaatio ja pitkä käyttöikä: Erityinen pinnoiteteknologia estää tehokkaasti hiukkasten tarttumisen, mikä vähentää prosessikontaminaation riskiä; vahva korroosionkestävyys varmistaa yli 1000 syklin käyttöiän, mikä alentaa asiakkaan kokonaiskustannuksia.
Yhteensopivuus ja joustavuus: Tukee erilaisia piikiekkojen kokoja (M6/M10/G12 jne.) ja erilaisia prosessivaatimuksia, tarjoaa räätälöityjä urien välejä ja veneen rakennesuunnitelmia, ja on yhteensopiva valtavirran PECVD-laitteiden (kuten Centrotherm, Meyer Burger jne.) kanssa.
