EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
CVD-siikarbidilevypidike
Semixlabin piikarbidi-kiekkojen pidikkeet on valmistettu tiheästä isostaattisesta grafiitista ja päällystetty erittäin puhtaalla CVD-piikarbidikerroksella. Ne on rakennettu MOCVD- ja epitaksireaktoreiden vaativiin olosuhteisiin. Tuloksena on hyvä terminen tasaisuus kiekossa ja erittäin alhainen metallikontaminaatio – mikä parantaa suoraan saantoa ja laitteen suorituskykyä.
Tuotetiedot
Yhdistepuolijohdeepitaksiassa – kuten GaN-on-Si-, GaN-on-safiiri- tai MicroLED-valmistuksessa – kiekkopidike (jota joskus kutsutaan SiC-päällystetyksi suskeptoriksi) on kriittinen osa. Se sijaitsee lämmittimen ja kiekon välissä ja hallitsee suurimman osan lämmönsiirrosta.
Miksi insinöörit valitsevat Semixlabin piikarbidilevypidikkeet?
● 7-yhdeksän prosenttiosuuden puhtaus (metallien kokonaismäärä < 5 ppm) – Käytämme patentoitua CVD-prosessia (professori Shaolong Hen kehittämä), joka pitää hivenmetallien, kuten Fe:n, Cu:n ja Ni:n, pitoisuudet erittäin alhaisina. Tämä tarkoittaa vähemmän hilavirheitä herkän GaN-kasvun aikana.
● Hyvä lämmön tasaisuus (±1 %) – CVD-piikarbidikalvolla on korkea lämmönjohtavuus (~300 W/m·K). Lämpö leviää nopeasti ja tasaisesti, mikä auttaa vähentämään kiekon kaareutumista ja lämpöjännitystä.
● Vahva kestävyys H₂- ja NH₃-korroosiolle – Toisin kuin paljas grafiitti tai kvartsi, tiheä piikarbidipinnoitteemme pysyy inertinä korkean lämpötilan ammoniakki- ja vetyvirtauksissa (900–1200 °C). Hiukkasten irtoaminen on vähäisempää ja osa kestää 3–5 kertaa pidempään.
● Lämpölaajenemiskertoimen yhteensovitus – Erityinen gradienttisiirtymäkerros pitää pinnoitteen ja grafiitin välisen lämpölaajenemiskertoimen hyvin tasaisena. Ei delaminaatiota tai halkeilua edes nopean kiihdytyksen ja hidoituksen aikana.
tekniset tiedot
| Parametri | tyypillinen arvo | Miksi se koskee |
| Pinnoitemateriaali | 99.99999 % CVD-piikarbidi | Ei ionivuotoja tai raskasmetallikontaminaatiota |
| Alustan | Suuritiheyksinen isostaattinen grafiitti | Säilyttää lujuuden 1600 °C:ssa |
| Lämmönjohtokyky | ~300 W/m·K (huonelämpötilassa) | Tasainen EPI-kerroksen paksuus |
| Pinnoitteen kovuus | ~2500 HV (Vickers) | Kestää automaattisen lastauksen/purun aiheuttamaa kulumista |
| Pinnan karheus | Ra < 0.2 μm | Polymeerien ja sivutuotteiden vähemmän tarttumista |
| Yhteensopivuus | räätälöinnin | Tarkkuus räätälöintivaatimustesi mukaan |
Sovellukset
Keskeiset sovellusskenaariot
● GaN-on-Si / GaN-on-safiiriepitaksi – Tärkeä teholaitteille ja RF-siruille, joissa paikallinen terminen stabiilius vaikuttaa suoraan GaN-kerroksen sähköiseen liikkuvuuteen.
● MicroLED ja edistyneet näytöt – Vaatii erittäin korkeaa puhtautta ja hyvin vähän hiukkasia, mitä pidikkeemme tarjoaa tiheille LED-matriiseille.
● Piikarbidikiteiden kasvatus (PVT) – Toimii tehokkaana kantajana piikarbidilähdemateriaalille ja voi tukea jopa ~1.46 mm/h kasvunopeuksia.
● Nopea lämpökäsittely (RTP) – Pidike kestää äärimmäisiä lämpöshokkeja nopeiden hehkutussyklien aikana ilman mikrohalkeilua.
Kilpailuetu
Semixlabin edut
Emme ole pelkkä toimittaja – pyrimme olemaan todellinen kumppani lämpökenttätarpeisiisi. Kiinan tiedeakatemian tutkijat perustivat Semixlabin, ja meillä on yli 12 erillistä CVD-tuotantolinjaa. Meillä on myös oma 5-akselinen CNC-koneistus, joten voimme valmistaa kiekkojen pidikkeitä jopa ±0.01 mm:n toleransseilla. Tämä tarkoittaa, että ne sopivat suoraan globaaleihin työkalusarjoihisi ilman lisäsovitusta.
palvelumme
Semixlab-tuotekauppa
