EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC-pinnoitettu grafiittilämmitin MOCVD:lle
Semixlabin piikarbidipäällysteinen grafiitti-MOCVD-lämmitin on puolijohdevalmistusprosesseihin suunniteltu tehokas lämmityslaite, joka käyttää kemiallista höyrypinnoitusta (CVD) tasaisen ja tiheän piikarbidipäällysteen (SiC) muodostamiseksi erittäin puhtaan grafiittialustan pinnalle.
Tuotetiedot
Tuotteet Lisätiedot
SiC-päällysteinen grafiitti-MOCVD-lämmitin yhdistää grafiitin erinomaisen lämmönjohtavuuden SiC-pinnoitteiden korkeaan lämpötilaan ja korroosionkestävyyteen, ja sitä käytetään laajalti metalli-orgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoituksissa (MOCVD) laitteiden vakauden ja korkean puhtauden varmistamiseksi kiekkojen epitaksian kasvuprosesseissa.
SiC-päällystetyn grafiittisen MOCVD-lämmittimen ominaisuudet
1. Erittäin korkea puhtaus ja kemiallinen stabiilius
Puhtaus ≥99.99995 %: Grafiittilämmittimemme valmistetaan korkean lämpötilan kloorauksella CVD-prosessin avulla, mikä estää tehokkaasti metallien epäpuhtauksien kontaminaation ja vastaa puolijohdevalmistuksen erittäin puhtaiden ympäristöjen vaatimuksiin.
Kemiallinen korroosionkestävyys: Tiheä ja korkea piikarbidipinnoite (Vickers-kovuus 2500–2800) kestää happojen, emästen, suolojen ja orgaanisten liuottimien eroosiota, mikä pidentää laitteen käyttöikää syövyttävässä kaasuympäristössä.
2. Erinomainen korkeiden lämpötilojen kestävyys
Korkea lämpötilastabiilius: kestää jopa 3000 °C:n lämpötilan inertissä ilmakehässä, vakaan toiminnan jopa 2200 °C:ssa tyhjiöympäristössä ja 1600–1700 °C:ssa hapettavassa ympäristössä, mikä sopii MOCVD-reaktiokammion äärimmäisiin olosuhteisiin.
Alhainen lämpölaajenemiskerroin (4.5 x 10⁶K⁹): Tämä MOCVD-grafiittilämmittimen ominaisuus vähentää tehokkaasti pinnoitteen halkeilua tai hilseilyä lämpötilan muutosten vuoksi ja varmistaa rakenteellisen eheyden pitkäaikaisessa lämpösyklissä.
3. Optimoitu lämmönhallinta
Korkea lämmönjohtavuus (200–300 W/mK): Grafiittisen MOCVD-lämmittimen korkea lämmönjohtavuus varmistaa, että tuote voi siirtää lämpöä nopeasti ja tasaisesti, jolloin kiekon pinnan lämpötilajakauma on tasainen (±1 °C), mikä parantaa tehokkaasti epitaksiaalisen kerroksen tasaisuutta.
Laminaarikaasun virtauskentän suunnittelu: Jatkuvan teknologian iteroinnin ja päivittämisen jälkeen MOCVD-lämmittimen pinnan sileys (Ra ≤ 0.8 μm) ja geometrian optimointi varmistavat reaktiivisten kaasujen tasaisen jakautumisen ja vähentävät turbulenssin aiheuttamaa laskeuman epätasaisuutta.
tekniset tiedot
Teknisten parametrien vertailu ja edut
| Ominaisuudet | Semixlab SiC-pinnoitetut lämmittimet | Perinteiset grafiittilämmittimet |
| Suurin käyttölämpötila (inertti) | 3000 ° C | 2500 ° C |
| Kemiallinen puhtaus | ≥ 99.99995% | ≤ 99.99 |
| Lämmönjohtokyky | 300 W / mK | 120-150 W/mK |
| Pinnoitteen tarttuvuus | 415 MPa (4-pisteinen taivutus) | 100 - 200 MPa |
| Tyypillinen käyttöikä (syklit) | > 500 sykliä | 100 - 200 sykliä |
Kilpailuetu
Miksi Semixlab?
Räätälöinti: Semixlab on sitoutunut tarjoamaan asiakkailleen räätälöityjä tuotteita ja teknisiä palveluita. Tuemme myös epästandardien kokojen (halkaisija jopa 360 mm) ja pinnoitteen paksuuksien (20–500 μm) räätälöintiä monenlaisten laitteiden tarpeisiin.
Globaali sertifiointi: SiC-päällystetty grafiittilämmittimemme on SEMI-yhteensopiva, ISO 9001 -sertifioitu, ja tuotteitamme viedään pääasiassa Eurooppaan ja Yhdysvaltoihin sekä Japaniin ja Etelä-Koreaan, ja niillä on merkittävä hinta-laatusuhde-etu.
Tekninen synergia: Semixlab on pitkään tehnyt tiivistä yhteistyötä Kiinan huippututkimuslaitosten kanssa ja käyttänyt patentoituja pinnoitusteknologioita (kuten CGT Carbonin SiC³-prosessia) pinnoitteiden tiheyksien ja lämpöshokkien kestävyyden optimoimiseksi.
