EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Korkean puhtauden piikarbidikiekkovene
Semixlab on johtava kiinalainen erittäin puhtaiden piikarbidi-kiekkoveneiden valmistaja ja toimittaja. Sen piikarbidi-kiekkoveneitä käytetään laajalti keskeisissä prosessiyhteyksissä, kuten LPCVD:ssä, hapetuksessa ja hehkuttamisessa, erinomaisen lämpöstabiilisuutensa, korroosionkestävyytensä ja mekaanisen lujuutensa ansiosta. Jos etsit piikarbidi-kiekkoveneitä, jotka minimoivat hiukkaskontaminaation, pidentävät käyttöikää ja varmistavat kiekkojen turvallisuuden, tämä tuote on ihanteellinen valintasi.
Tuotetiedot
Puolijohdevalmistuksessa korkean lämpötilan prosessit asettavat kiekkojen kantajille äärimmäisen haasteen. Kun lämpötila ylittää 1600 ℃, perinteinen kvartsikiekko (kiekoissa käytetty kvartsivene) alkaa pehmetä, muuttaa muotoaan ja vapauttaa epäpuhtauksia, mikä aiheuttaa kiekkojen romutuksen kasvun.
Erittäin puhdas piikarbidista (SiC) valmistettu kiekkovene, jossa on piikarbidin (SiC) luontaiset materiaaliedut, ratkaisee tämän alan kipupisteen täysin ja siitä tulee olennainen työkalu edistyneessä puolijohdevalmistuksessa, erityisesti piikarbiditeholaitteiden tuotannossa.
tekniset tiedot
Tuotteen keskeiset fyysiset ominaisuudet ja tekniset parametrit:
| Tulosindikaattori | Korkean puhtauden piikarbidikiekkovene | Perinteinen kvartsikantaja | Parannetut edut |
| Suurin käyttölämpötila | 1800 °C (jatkuva) / 2000 °C (huippu) | 1200 ° C | Lämpötilankesto parani 50 % |
| Lämmönjohtokyky | 4.9 W/cm·K (huoneenlämmössä) | 1.5 W/cm²·K | Lämmönpoistotehokkuus kasvoi 226 % |
| Lämpölaajenemiskerroin | 4–5 × 10⁻⁶/K | 0.55 × 10⁻⁶/K | Lämpöstabiilius parani 7 kertaa |
| Kovuus | Mohsin asteikko 9.2 (toinen vain timantin jälkeen) | Moh 7 | Kulumiskestävyys parani 30 kertaa |
| Kiekkojen kosketuspisteen jännitys | <5 MPa (liukumaton rakenne) | > 20 MPa | Kiekkojen liukumisnopeus pienenee 80 % |
| Hiukkasten vapautuminen | 0 hiukkasta/cm² (puhtausluokka 100) | >50 hiukkasta/cm² | Saasteet lähellä nollaa |
Piikarbidikiekkoalustan (SiC Wafer Carrier) erinomainen suorituskyky johtuu sen ainutlaatuisista materiaalitieteellisistä ominaisuuksista. Alla on yksityiskohtainen vertailu tärkeimmistä fysikaalisista parametreista:
Nämä parametrit johtavat suoraan parempaan saantoon ja alennettuihin kustannuksiin puolijohdevalmistuksessa, kuten seuraavassa on esitetty:
Lämpöominaisuuksien etu: Piikarbidin laaja energiavyö (3.26 eV) varmistaa, että sen kiderakenne pysyy vakaana 2000 °C:ssa ja estää lämpömuodonmuutoksen. Korkea lämmönjohtavuus (4.9 W/cm·K) mahdollistaa kiekon tasaisemman lämmityksen ja poistaa lämpöjännityksen aiheuttamat hilavirheet.
Mekaaninen lujuus: 9.2 Mohsin kovuus kestää fyysisiä iskuja prosessin aikana, ja käyttöikä on yli 10 kertaa perinteisten kvartsikannerien käyttöikä. Ainutlaatuinen puoliympyrän muotoinen urarakenne pitää kiekon kosketusjännityksen alle 5 MPa:ssa, mikä poistaa korkeiden lämpötilojen liukumisilmiön.
Kemiallinen inerttiys: Kestää erittäin syövyttäviä kaasuja, kuten HF:ää ja HCl:ää, yli 10 000 tuntia, ja LPCVD:ssä, diffuusiossa, hapetuksessa ja muissa prosesseissa ei ole lainkaan saasteita.
Sovellukset
Korkean puhtauden piikarbidikiekkoveneen keskeinen rooli
Korkean puhtauden piikarbidikiekkovenettämme käytetään laajalti seuraavissa keskeisissä puolijohteiden valmistusprosesseissa:
Korkean lämpötilan hehkutus: SiC-kiekkojen valmistajan tuotantolinjalla korkean lämpötilan hehkutus on keskeinen vaihe lisäaineiden aktivoinnissa ja hilavirheiden korjaamisessa. SiC-kiekkoveneen korkean lämpötilan stabiilius varmistaa hehkutusprosessin tasaisuuden ja tehokkuuden.
Epitaksiaalinen kasvu: Olipa kyseessä sitten piipohjainen epitaksi tai piikarbidilevyepitaksi, piikarbidilevyveneen korkea lämmönkestävyys ja korroosionkestävyys tekevät siitä ihanteellisen kantajan korkealaatuisen epitaksiaalisen kerroksen kasvun varmistamiseksi.
jakelu: Korkean lämpötilan diffuusiouunissa LPCVD-kiekkoveneen piikarbidikiekkovene kestää pitkäaikaista korkean lämpötilan käsittelyä dopingatomien tasaisen diffuusion varmistamiseksi ja tarkkojen sähköisten ominaisuuksien muodostamiseksi.
Ohutkalvopinnoitus: Erityisesti Lpcvd-kiekkovenesovelluksissa piikarbidi-kiekkoveneiden erittäin alhainen hiukkasirto ja erinomainen lämmönjohtavuus auttavat saamaan aikaan korkealaatuisia ja erittäin tasaisia kalvoja.
Yhteensopivat laitteet ja prosessien yhteensopivuus:
✔ Yhteensopiva yleisimpien LPCVD-uunien kanssa (kuten TEL, Kokusai, ASM, SVG, Tystar jne.)
✔ Mukautettavat kiekkojen tekniset tiedot, kuten 100 mm/150 mm/200 mm
✔ Tukee prosessilaitteiden vaaka- ja pystysuuntaista asennusta
Semixlabin piikarbidikiekkovene on ihanteellinen valinta prosessien tehokkuuden ja tuotesaannon parantamiseen, ja se on johtava yritys edistyneissä puolijohdekiekkoveneratkaisuissa.
palvelumme
Semixlab-tuotekauppa
Semixlab-tuotekaupat
